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chiller高精度換熱溫控單元

簡要描述：Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

  • 產(chǎn)品型號：PHE
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地：
  • 更新時間：2025-06-26
  • 訪  問  量：31

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